Papers - Matsumoto, Yoshinori

Absolute pressure sensors by air-tight electrical feedthrough strucutre

M.Esashi, Y.Matsumoto, S.Shoji

Sensors and ActuatorsA21-A23    1048-1052 1991.12

Research paper (conference, symposium, etc.), Joint Work

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気密封止と電極取り出しを両立させたフィードスルー構造を提案してその特徴と各種センサについて説明した。

電源電圧と温度の影響小さながC-Fコンバータ

山口元治、松本 佳宣、江刺正喜

電子情報通信学会論文誌、C-2 (電子情報通信学会)  J74-C-2 ( 11 ) 763-765 1991.03

Research paper (conference, symposium, etc.), Joint Work

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容量形センサ用の検出回路として電源電圧と温度の影響を受けにくいＣ－Ｆコンバータを設計、試作、評価を行った。

新しいフィードスルー構造を持つ絶対圧用小形圧力センサ

松本 佳宣、江刺正喜、庄子習一

電気学会論文誌C (電気学会)  110 ( 4 ) 255-262 1990.04

Research paper (conference, symposium, etc.), Joint Work

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マイクロマシニング技術を用いて気密封止と電極取り出しを両立したフィードスルー構造を持つ小型圧力センサを製作して評価を行った。

容量形センサC-FコンバータCMOS　ICの試作

松本佳宣、庄子習一、江刺正喜

電子情報通信学会論文誌,C-2 第J73-C-2巻 ( 第3号 ) 194-202 1990.03

Research paper (conference, symposium, etc.), Joint Work

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容量形センサ用の容量検出回路として容量を周波数に変換するＣ－ＦコンバータをCMOS技術を用いて設計、試作、評価を行った。

カテーテル用容量型圧力センサ

江刺正喜、庄子習一、松本佳宣、古田一吉

電子情報通信学会論文誌,C-2 第J73-C-2巻 ( 第2号 ) 91-98 1990.02

Research paper (conference, symposium, etc.), Joint Work

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カテーテル先端に取り付け可能な小型容量型圧力センサをマイクロマシニング技術を用いて製作して、CMOS回路チップとハイブリッド実装して評価を行った。