論文 - 松本　佳宣

Novel prevention method ofStiction using silicon anodization for SOI structure

Y.Matsumoto, T.Shimada, M.Ishida

Sensors and Actuators A 72   153-159 1999年01月

研究論文（研究会，シンポジウム資料等）, 共著

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シリコン陽極化成技術を用いて表面を凸凹にして撥水性を向上させＳＯＩ構造体の付着防止をする新しい方法を提案してその実証を行った。

The novel deposition technique of fluorocarbon films and its applications for bulk and surface micromachining devices

Y.Matsumoto, K.Yoshida, M.Ishida

Sensors and ActuatorsA 66   308-314 1998年04月

研究論文（研究会，シンポジウム資料等）, 共著

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フルオロカーボン膜の新しい堆積法を提案してマイクロマシニングデバイスへの応用に関して述べた。

Stress-sensitive differentialamplifiers using piezoresistiveeffects of p-MOSFET and theirapplication to three-axial accelerometers

H.Takao, Y.Matsumoto, M.Ishida

Sensors and ActuatorsA 165 （ 1 ） 61-68 1998年01月

研究論文（研究会，シンポジウム資料等）, 共著

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MOSFETのピエゾ抵抗効果を利用して応力で出力が変化する差動演算増幅器を一体化した加速度センサを試作、評価した。

感度とオフセット補償可能なPLL方式容量検出CMOSICの試作

松本 佳宣、松浦みほ、D.G.Ranjith,　石田誠

電気学会論文誌E （電気学会）  117 （ 11 ） 571-575 1997年11月

研究論文（研究会，シンポジウム資料等）, 共著

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容量型センサ用に感度とオフセットの補償が可能なCMOSICを設計、試作してその評価を行った。

SDB-SOIウェハを用いたセンサ用高温CMOS集積回路の試作

松本 佳宣、北山康夫、河村彰久、石田誠

電気学会論文誌E （電気学会）  117 （ 7 ） 377-383 1997年07月

研究論文（研究会，シンポジウム資料等）, 共著

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シリコン直接接合技術によるＳＯＩウェハを用いて３００度以上の高温で動作可能なMOSFETを提案して、これを用いたCMOS回路の基礎特性について述べた。

SDB-SOIウェハを用いたセンサ用高温CMOS集積回路の試作

松本佳宣、北山康夫、河村彰久、石田　誠　

電気学会論文誌 E 117巻 （ 7号 ） 377-383 1997年07月

研究論文（研究会，シンポジウム資料等）, 共著

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シリコン直接接合技術によるＳＯＩウェハを用いて３００度以上の高温で動作可能なMOSFETを提案して、これを用いたCMOS回路の基礎特性について述べた。

Three dimensional polysilicon type accelerometer using ploy-Si/SiO2/Si/SiO2/Si structure

K.Kwon, Y.Matsumoto, M.Ishida, S.Park

電気学会論文誌E （電気学会）  117 （ 7 ） 384-390 1997年07月

研究論文（研究会，シンポジウム資料等）, 共著

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Ploy-Si/SiO2/Si/SiO2/Siの５層構造を持つ３次元加速度検出用の加速度センサを設計、試作、評価した。

A planar fluxgate magnetic sensor for no-chip integration

S.O.Choi, S.Kawahiti, K.Takahashi, Y.Matsumoto, M.Ishida, Y.Tadokoro

Sensors and Materials 9 （ 4 ） 241-252 1997年04月

研究論文（研究会，シンポジウム資料等）, 共著

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シリコン上へ集積化することを目的としたフラックスゲート型磁気センサの設計、試作を行いその特性について述べた。

Analysis and design consideration of three dimentional vector accelerometer using SO strncture for high temperature range

H.Takao, Y.Matsumoto, H.Seo, M.Ishida, T.Nakamura

Sensors and Actuators A 55   91-97 1996年12月

研究論文（研究会，シンポジウム資料等）, 共著

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SOI構造を用いて４００度の高温で動作可能でかつ３次元を検出できる加速度センサの理論的解析と実測結果との比較について述べた。

SOI構造を用いた高温用磁気センサ

松本 佳宣、河合宏一、寺田忠志、川人祥二石田誠、中村哲郎

電気学会論文誌 （電気学会）  E116 （ 8 ） 317-324 1996年08月

研究論文（研究会，シンポジウム資料等）, 共著

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SOI構造を用いて２００度以上の高温で動作可能な磁気センサの設計、試作を行い、理論的解析を行った。

An integrated micro fluxgatemagnetic sensor

S.O.Choi, S.Kawahito, .Matsumoto, Y, M.Ishida, Y.Tadokoro

Sensors and ActuatorsA 55   121-126 1996年06月

研究論文（研究会，シンポジウム資料等）, 共著

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フラックスゲート型磁気センサとその駆動、検出回路をシリコン上に集積化した磁気センサを設計、試作、評価した。

Three-dimensional vector accelerometer using SOI structure for high temperature use

H.Takao, Y.Matsumoto, M.Ishida,T.Nakamura, H.Tanaka, H.Seo

Electronics and Communications in Japan,Part2 79 （ 3 ） 61-72 1996年03月

研究論文（研究会，シンポジウム資料等）, 共著

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SOI構造を用いて４００度の高温で動作可能でかつ３次元を検出できる加速度センサを設計、試作してその特性について述べた。

A capacitive accelerometer usingSDB-SOIstructure

Y.Matsumoto, M.Iwakiri, H.Tanaka, M.Ishida, T.Nakamura

Sensors and ActuatorsA 53   267-272 1996年02月

研究論文（研究会，シンポジウム資料等）, 共著

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シリコン直接接合技術によるＳＯＩウェハを用いて容量型加速度センサを製作して、容量検出回路と組み合わせその特性を評価した。

An integrated MOS magnetic sensor with Chopper-stabilizedamplifier

S.Kawahito, K.Hayama, Y.Matsumoto, M.Ishida, Y.Tadokoro

Sensors and Materials 8 （ 1 ） 1-12 1996年01月

研究論文（研究会，シンポジウム資料等）, 共著

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磁気センサの低雑音を目的としてチョッパー増幅の原理を取り入れた回路一体型磁気センサを設計、試作してその評価を行った。

教育用NMOS集積回路の製作と評価

松本 佳宣、足木光昭、石田誠、中村哲郎

電子情報通信学会論文誌、C-2 （電子情報通信学会）  J78-C-2 （ 12 ） 1911-1918 1995年12月

研究論文（研究会，シンポジウム資料等）, 共著

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大学学部学生の教育用NMOS集積回路の製作と評価ならびにその教育的効果について述べた。

SIO構造を用いた高温用3次元加速度ベクトルセンサ

高尾英邦、松本 佳宣、田中秀一、徐煕敦、石田誠、中村哲郎

電子情報通信学会論文誌、C-2 J78-C-2 （ 10 ） 451-461 1995年10月

研究論文（研究会，シンポジウム資料等）, 共著

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SOI構造を用いて４００度の高温で動作可能でかつ３次元を検出できる加速度センサを設計、試作してその特性について述べた。

Design consideration for siliconrectangular diaphragm pressure sensor with single-element four-terminal strain gauge

Y.T.Lee, H.D.Seo, R.Takano, Y.Mastumoto, M.Ishida, T.Nakamura

Sensors and Materials 7 （ 1 ） 53-63 1995年01月

研究論文（研究会，シンポジウム資料等）, 共著

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４端子応力ゲージと長方形ダイヤフラムを持つ圧力センサの設計指針に関して説明した。

Integratd silicon capacitive accelerometer with PLL servo technique

Y.Matsumoto, M.Esashi

Sensors and ActuatorsA 39 （ 3 ） 209-217 1993年03月

研究論文（研究会，シンポジウム資料等）, 共著

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シリコン上に加速度センサとその検出回路を一体化して、かつＰＬＬ回路を用いてサーボ方式で駆動させる加速度センサを設計、試作してその特性について述べた。

An integrared capacitive absolute pressure sensor

Y.Matsumoto, M.Esashi

Electronics and Communications in JapanPart2 76 （ 1 ） 93-106 1993年01月

研究論文（研究会，シンポジウム資料等）, 共著

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シリコン上に圧力センサとその検出回路を一体化してフィードスルー構造を用いて気密封止を行った圧力センサを設計、試作してその特性について述べた。

絶対圧用集積化容量形圧力センサ

松本 佳宣、江刺正喜

電子情報通信学会論文誌、C-2 （電子情報通信学会）  J75-C-2 （ 8 ） 451-461 1992年08月

研究論文（研究会，シンポジウム資料等）, 共著

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シリコン上に圧力センサとその検出回路を一体化してフィードスルー構造を用いて気密封止を行った圧力センサを設計、試作してその特性について述べた。