論文 - 松本 佳宣
-
Fabrication of Three Dimensional Structures by Image-Processing Technique
Kei Hanai, Takashi Nakahara, Sayaka Shimizu, Yoshinori Matsumoto
Sensor and Materials 18 （ 1 ） 49-61 2006年01月
研究論文（研究会，シンポジウム資料等）, 共著, 査読有り
-
バイナリオプティクスによるネガ型レジストの三次元形状
花井 計，清水 さやか，松本佳宣
電気学会論文誌 E 125 （ 10 ） 424-425 2005年10月
研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り
-
高アスペクト比立体形状への配線パターン露光法の開発
花井 計，田村 喜朗，松本佳宣
電気学会論文誌 E 125 （ 6 ） 280-281 2005年06月
研究論文（研究会，シンポジウム資料等）, 共著, 査読有り
-
Magnetic mesa structures fabricated by reactive ion etching with CO/NH3/Xe plasma chemistry for an all-silicon quantum computer
Dong F. Wang, A. Takahashi, Y. Matsumoto, K.M. Itoh, Y. Yamamoto, T. Ono and M. Esashi
Nanotechnology 16 990-994 2005年
研究論文（研究会，シンポジウム資料等）, 共著, 査読有り
-
グレイスケールリソグラフィと構造体転写を用いた感光材料と樹脂材料の微細３次元加工
森 涼太郎、花井 計、松本 佳宣
電気学会論文誌 E 124 （ 10 ） 359-363 2004年10月
研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り
-
短距離通信用CMOS集積化光受信器の開発
桑原 啓、松本 佳宣
電子情報通信学会論文誌 J87-C （ 4 ） 396-403 2004年04月
研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り
-
エマルジョングレイスケールマスクの紫外線透過量と感光性ガラスの3次元加工
森 涼太郎、松本 佳宣
電気学会論文誌 E 123 （ 11 ） 499-503 2003年11月
研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り
-
微小クロムパターンを用いたグレイスケールリソグラフィーの研究
花井 計、松本 佳宣
電気学会論文誌 E 123 （ 10 ） 410-415 2003年10月
研究論文（研究会，シンポジウム資料等）, 共著, 査読有り
-
無電解めっき法によるガラス貫通配線の形成
中丸 文雄、松本 佳宣
電気学会論文誌 E 123 （ ８ ） 313-314 2003年08月
研究論文（研究会，シンポジウム資料等）, 共著, 査読有り
-
Damage Free Dicing Method for MEMS Devices
Y. Matsumoto ,Y. Awatani, K. Kato
電気学会論文誌 E 123 （ 7 ） 255-256 2003年07月
研究論文（研究会，シンポジウム資料等）, 共著, 査読有り
-
グレイスケールマスクを用いたガラスの三次元微細加工技術
鹿又 学、松本 佳宣
電気学会論文誌 E （電気学会） 122 （ １１ ） 531-536 2002年11月
研究論文（研究会，シンポジウム資料等）, 共著
-
High efficiency optical coupler for a small photo acceptance area photodiode used in the high speed plastic optical fiber communication
Y. Matsumoto, A. Nakazono, T. Kitahara, Y. Koike
Sensors and Actuators A 97-98 318-322 2002年08月
研究論文（研究会，シンポジウム資料等）, 共著
-
Novel high efficiency concentrator for optical fiber communication
F. Nakamaru, Y. Matsumoto, A. Nakazono
IEEE Photonics Technology Letters 14 （ 7, July ） 953-955 2002年
研究論文（研究会，シンポジウム資料等）, 共著
-
Novel high efficiency concentrator for optical fiber communication
F. Nakamaru, Y. Matsumoto, A. Nakazono
The 2001 International Conference on Optical MEMS 2001, 125-126 2001年09月
共著, 査読有り
-
グレイスケールマスク製作法とそれを用いた３次元微細加工法
慶應義塾大学 知的資産センター 2001年07月
単著
-
Small and high-sensitive three axis SOI capacitive accelerometer
Y.Yamaguchi, F.Katsumata, M.Nishimura, Y.Matsumoto, M.Ishida
The Transaction of IEEE Japan 121-E （ 7, July ） 362-366 2001年07月
研究論文（研究会，シンポジウム資料等）, 共著
-
Novel optical transceiver with compound parabolic concentrator for graded index plastic opticalfiber
Y. Matsumoto, A. Nakazono, T. Kitahara, Y. Koike
The 2001 International Conference on Solid-State Sensor and Actuators 202-205 2001年06月
共著, 査読有り
-
Development and evaluation of capacitance detection ASIC for three-axis capacitive accelerometer
Y. Matsumoto, S. Kawahito, M.Ishida
The Transaction of IEEE Japan 121-E, （ 3, March ） 135-141 2001年03月
研究論文（研究会，シンポジウム資料等）, 共著
-
The property of plasma polymerized fluorocarbon film in relation to CH4/C4F8 ratio and substrate temperature
Y. Matsumoto, M. Ishida
Sensors and Actuators A 83 179-185 2000年05月
研究論文（研究会，シンポジウム資料等）, 共著
-
Three-axis SOI capacitive accelerometer with PLL C-Vconverter
Y.Matsumoto, M.Nishimura, M.Matsuura,M.Ishida
Sensors and Actuators A 75 77-85 1999年05月
研究論文（研究会，シンポジウム資料等）, 共著