Presentations -

Quantitative evaluation of patterned self-assembled monolayers by color imaging of zeta-potential obtained from two-color fluorescence and evanescent wave illumination

Yutaka Kazoe, Shu Miyakawa, Norihisa Miki & Yohei Sato

12th International Conference on Miniturized Systems for Chemistry and Life Sciences, MicroTAS 2008 (San Diego, USA) , 

2008.10

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Oral presentation (general)

A Multilayered Microfilter with High performances applicable for Wearable Artificial Kidneys

Ye Gu and Norihisa Miki

The 4th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology(APCOT) 2008 (Tainan, Taiwan) , 

2008.06

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Oral presentation (general)

MEMS-Enabled Human Interface Devices

T. Shigeoka, K. Osawa, T. Muro, K. Ninomiya, and N. Miki

Malaysia-Japan International Symposium on Advanced Technology 2007, MJISAT 2007 (Kuala Lumpur, Malaysia) , 

2007.10

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Oral presentation (general)

　View Summary

MEMS技術によりこれまでにない高機能なヒューマンインターフェースが実現できる。本発表においては、MEMS技術を用いた視線検出デバイス、および触覚呈示デバイスについて発表する。

Water-Vapor Permeability Control of PDMS by Dispersion of Collagen Powder

M. Ishida, Y. Kazoe, Y. Sato, and N. Miki

Eleventh International Conference on Miniturized Systems for Chemistry and Life Sciences, MicroTAS 2007 (Paris, France) , 

2007.10

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Poster presentation

　View Summary

PDMSはマイクロリアクタ材料として最も頻繁に使用されるが、空気・水透過性が大きいという特徴を有する。そこで保水性に富むコラーゲン微粒子を分散させ、透過性の制御を試みた。本発表においては、水透過性を直接計測するデバイスの開発およびそれを用いた水透過性制御評価結果について発表する。

Demonstration of a Telemetric System Using Gastric-Fluid-Utilizing Micro Battery

H. Jimbo and N. miki

Eleventh International Conference on Miniturized Systems for Chemistry and Life Sciences, MicroTAS 2007 (Paris, France) , 

2007.10

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Poster presentation

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開発してきた胃酸発電地を用い、実際に信号送信システムを駆動できたことを発表する。胃酸発電地によるカプセル型内視鏡の高機能化の可能性を示す。

Structure of Electroosmotic microchannel Flow Affected by Nonuniform Wall Zeta-Potential

Y. Kazoe, N. Miki, and Y. Sato

Eleventh International Conference on Miniturized Systems for Chemistry and Life Sciences, MicroTAS 2007 (Paris, France) , 

2007.10

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Poster presentation

　View Summary

マイクロ流路内の壁面極近傍においては、表面のゼータ電位により電気浸透流が生成される。本発表では、自己組織単分子膜によりゼータ電位を制御し、その電気浸透流への影響を調べた結果を発表する。

Site-Selective Deposition of Silver Nano Particles for Surface Enhanced Raman Scattering

K. Kurooka, K. Deguchi, and N. Miki

Eleventh International Conference on Miniturized Systems for Chemistry and Life Sciences, MicroTAS 2007 (Paris, France) , 

2007.10

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Poster presentation

　View Summary

超高感度センシングとして期待されるSERSの実用化のためには、銀ナノ構造をマイクロリアクタ内に作りこむことが不可欠である。本発表では我々が研究してきている銀ナノ粒子析出技術と、表面エネルギー制御技術により、極局所的にSERSサイトを製作する技術を発表する。これによりマイクロリアクタ内の任意の場所をSERSサイトとでき、サンプル導入流体回路と組み合わせた高機能センシングシステムの実現が期待される。

Micropump and Micromixer Based on Electrically Induced Buoyancy

S. Hirahara, T. Tsuruta, Y. Matsumoto, N. Miki, and H. Minamitani

Eleventh International Conference on Miniturized Systems for Chemistry and Life Sciences, MicroTAS 2007 (Paris, France) , 

2007.10

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Poster presentation

　View Summary

マイクロスケールではレイノルズ数が極めて小さく、対流が支配的ではないため、サンプルをいかに混合するかが問題となる。本研究では電気的に生起した浮力を用いたマイクロポンプおよびマイクロミキサーについて発表する。

Wearable Line-of-Sight Detection System Using Dye-Sensitized Photovoltaic Devices

Takeshi Shigeoka, Norihisa Miki

14th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'07) (Lyon, France) , 

2007.06

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Oral presentation (general)

　View Summary

色素増感素子を用いた眼鏡型の視線検出デバイスにおいては、素子のアレイ化、小型化が、デバイスの高精度化に不可欠である。本発表においてはマイクロファブリケーション技術を用いた、色素増感素子アレイの製作およびそれを用いた実験結果について発表した。

Wearable Line-of-Sight Detection System Using Dye-Sensitized Photovoltaic Devices

Takeshi Shigeoka, Norihisa Miki

2007 IEEE International Conference on Robotics and Automation (ICRA'07) (Rome, Italy) , 

2007.04

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Oral presentation (general)

Microfilter Fabricated with PDMS and PES Membrane Applicable for Implantable Artificial Kidney

Y. Gu and N. Miki

2ndIEEE-NEMS, 2nd IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (Bangkok, Thailand) , 

2007.01

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Oral presentation (general)

　View Summary

We present a novel microfilter for artificial kidneys which can be implanted in human bodies. The microfilter is composed of two micro chambers made of PDMS and one layer of porous membrane formed by wet phase immersion method using PES (polyethersulfone). Filtering capacity for molecules with various molecule sizes of this microfilter was verified using solution samples of sodium chloride (NaCl) and FITC (Fluorescein Isothiocyanate) Dextrans (MW 4k, 20k, 70k and 250k).

Development of Low-cost Surface Enhanced Raman Scattering Substrates with Silver Nano-particles Using the Modified Silver Mirror Reaction FOR ULTRA-SENSITIVE AND ON-SITE DETECTIONS

Kurooka K. and Miki N.

Tenth International Conference on Miniturized Systems for Chemistry and Life Sciences, MicroTAS 2006 (Tokyo, Japan) , 

2006.11

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Poster presentation

　View Summary

Ultra-sensitive as well as on-site detections are strongly demanded in the field of detection technology, which can be achieved by µTAS utilizing surface enhanced Raman scattering (SERS). In this paper, we propose manufacturing of the SERS substrates with silver nano-particles utilizing the modified silver mirror reaction, where dispersants are added to the conventional silver mirror solution. The processes are very simple and completed in only 15 minutes at extremely low cost. The SERS substrate exerted an extremely high Raman enhancement factor of 106. We fabricated a µTAS device containing the SERS site. It successfully showed remarkably high Raman enhancement with good repeatability. The fabricated SERS substrate and µTAS device herein are low cost and exhibit good repeatability and thus, are readily applicable to ultra-sensitive and on-site detections in various applications.

Gastric-fluid-utilized Micro Battery for Micro Medical Devices

H. Jimbo and N. Miki

Power MEMS2006, The 6th International Workshop on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (Berkeley, CA, USA) , 

2006.11

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Poster presentation

　View Summary

近年の医療技術の進歩は目覚しく、飲みこみ型内視鏡はその代表例である。飲みこみ型内視鏡のさらなる高機能化には、付加的な電力供給が不可欠である。我々は内視鏡の活動領域が胃を含む消化器官であることに注目し、胃酸を電解液として発電するマイクロ発電デバイスを開発した。そのコンセプト、製作方法、実験結果について発表した。

Nano/Micro Fabrication Enabling Technology

MIKI NORIHISA

Sixth Japan-America Frontiers of Engineering Symposium (Tsukuba) , 

2006.09

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Poster presentation, National Academy of Engineering, Engineering Academy of Japan, Japan Science and Technology Agency

　View Summary

全米工学アカデミー(NAE: National Academy of Engineering)、及び日本工学アカデミー(EAJ: Engineering Academy of Japan)と共同で開催した日米先端工学(JAFoE: Japan-America Frontiers of Engineering)シンポジウムに、日本側工学者代表の一人として参加。加工からヒューマンインターフェース、PowerMEMSにいたる現在の研究テーマについて発表した。

Surface Enhanced Raman Scattering Substrates with Silver Nano-particles Using the Modified Silver Mirror Reaction

Kurooka K. and Miki N.

The First International Conference on Surface-enhanced Raman Scattering (SERS2006) (Hyogo, Japan) , 

2006.08

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Poster presentation

　View Summary

超高感度センシングとして期待されるSERSのための銀ナノ粒子基板の製作方法について、特に分散剤を加えた銀鏡反応による自己組織的銀ナノ粒子析出方法について発表した。

Non-photolithographic Manufacturing Processes for Micro-channels Functioned by Micro-contact-printed SAMs

H. Saigusa, Y. Suga and N. Miki

THE 22nd Sensor Symposium (船堀) , 

2005.10

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Oral presentation (general)

Hydrostatic Gas Journal Bearings for Micro-Turbomachinery

L. Liu, C.J. Teo, N. Miki, A.H. Epstein and Z.S. Spakovszky

19th Biennial Conference on Mechanical Vibration and Noise (Chicago, IL, USA) , 

2003.09

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Oral presentation (general)

　View Summary

極めて小さいロータ径、短いベアリング長、さらにロータ回転数が100万RPMを超えるガスジャーナルベアリングに関して、理論的、実験的に議論した。

Bonding Energy of Direct-Bonded Hydrophilic Silicon Wafers with Nanoscale Surface Roughness at Room Temperature

Miki N. and Spearing SM.

The 12th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 03) (Boston, MA, USA) , 

2003.06

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Poster presentation

　View Summary

シリコンウエハ接合の性能を決定するパラメータの一つであるナノスケールの表面粗さを、 Bearing Ratioにより評価し、ウエハ接合技術の性能を表す接合エネルギと比較した。薬品により任意の表面粗さをもったウエハによる接合実験により、Bearing Ratioと接合エネルギが比例することを示し、ナノスケール表面粗さとウエハ接合の性能を初めて定量的に関連付けた。

Precision Fabrication of High-Speed Micro-Rotors Using Deep Reactive Ion Etching (DRIE)

N. Miki, C.J. Teo, L. Ho, and X. Zhang

Solid-State Sensor and Actuator Workshop (Hilton Head 2002) (Hiltonhead Island, SC, USA) , 

2002.06

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Poster presentation

　View Summary

Power MEMSデバイスに用いられる微小ロータの回転性能を決定する要因の一つは、ロータのインバランスである。ロータのインバランスがDeep Reactive Ion Etchingによる製作中に発生する加工不均一性に依存していることを明らかにした。製作プロセスを最適化することにより、加工不均一性を低減することに成功した。

A Study of Multi-Stack Silicon-Direct Wafer Bonding for MEMS Manufacturing

N. Miki, X. Zhang, R. Khanna, A.A. Ayon, D. Ward, and S.M. Spearing

15th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2002) (Las Vegas, NV, USA) , 

2002.01

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Poster presentation

　View Summary

シリコンウエハ直接接合技術は、Power MEMS デバイスなど3次元構造MEMSデバイスの製作に有効である。本論文では、特に複数枚のシリコンウエハの直接接合によるMEMSデバイスの製作プロセスに付随する問題点および，その解決方法を示した。