真壁 利明 (マカベ トシアキ)

Makabe, Toshiaki

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所属(所属キャンパス)

理工学部 (三田)

職名

名誉教授

外部リンク

プロフィール 【 表示 / 非表示

  • Toshiaki Makabe received his BSc, MSc, and PhD degrees in electrical engineering all from Keio University, and he became a Professor of Electronics and Electrical Engineering at Keio University in 1991. He served as a guest professor at POSTECH, Ruhr University Bochum, and Xi’an Jiaotong University. He was the Dean of the Faculty of Science and Technology from 2007 to 2009. He served as the Vice-President of Keio in charge of research between 2009 and 2017. He was appointed to the Representative for International Affairs of the Research University 11 of Japan in 2017. Now he is a Professor Emeritus at Keio University and Emeritus member of Japan Society of Applied Physics. He has published more than 170 papers in peer-reviewed int. journals, and has given invited-talks on low-temperature plasmas at more than 90 int. conferences in the fields of non-equilibrium plasmas, and related basic transport theory and surface processes. In 1988, he had his opportunity to present his original Relaxation-ConTinuum (RCT) model for a low-temperature, radio-frequency (RF) plasma simulation. Direct numerical procedure (DNP) of the Boltzmann equation was proposed to study the velocity distribution and the transport of electrons in RF-fields in 1994. Robot-assisted spatiotemporal optical emission spectroscopy, i.e. computerized-tomography (CT) was developed in RF plasmas. In 2000, he integrated his modeling into “Vertically Integrated CAD for Device Processing” (VicAddress) for feature profile prediction. His study of a non-equilibrium radiofrequency plasma interacting with a surface was collected into the special issue, “80 Years of Plasma” in PSST (2009). He has authored many books, including Plasma Electronics: Applications in Microelectronic Device Fabrication (2nd edition) published by CRC Taylor & Francis Group (2014). He was on the Editorial Board of PSST and JPD. He has been a guest editor of special issues in JJAP, Aust. J. Phys., JVST-A, IEEE Tran. PS, and Appl. Surf. Sci. He received the awards “Fluid Science Prize” in 2003 from the Institute of Fluid Science (Tohoku Univ.); “Plasma Electronics Prize” in 2004 from JSAP; “Plasma Prize” in 2006 from the American Vacuum Society; and “DPS Nishizawa Award” in 2017 from the JSAP, for his “Pioneering contributions to plasma modeling and diagnostics as applied to plasma processing science and technology.” He is a foreign member of the Serbian Academy of Sciences and Arts (2013-). He is an elected Fellow of the Institute of Physics (UK), the American Vacuum Society (US), the Japan Society of Applied Physics, and the Japan Federation of Engineering Societies.

経歴 【 表示 / 非表示

  • 1975年04月
    -
    1979年03月

    慶應義塾大学工学部 ,助手

  • 1979年04月
    -
    1984年03月

    慶應義塾大学工学部 ,専任講師

  • 1984年04月
    -
    1991年03月

    慶應義塾大学理工学部 ,助教授

  • 1985年04月
    -
    1987年03月

    兼慶應義塾大学理工学部電気工学科 ,学習指導副主任

  • 1988年06月
    -
    1990年09月

    兼慶應義塾大学理工学部(基礎系) ,学習指導副主任

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学歴 【 表示 / 非表示

  • 1970年03月

    慶應義塾大学, 工学部, 電気工学科

    大学, 卒業

  • 1972年03月

    慶應義塾大学, 工学研究科, 電気工学専攻

    大学院, 修了, 修士

  • 1975年03月

    慶應義塾大学, 工学研究科, 電気工学専攻

    大学院, 単位取得退学, 博士

学位 【 表示 / 非表示

  • 工学 , 慶應義塾大学, 1978年03月

 

著書 【 表示 / 非表示

  • Plasma Electronics: Applications in Microelectronic Device Fabrication (2nd edition)

    Toshiaki Makabe and Zoran Petrovic, CRC Press (Boca, London, New York), 2014年

  • Plasma Electronics: Applications in Microelectronic Device Fabrication

    Toshiaki Makabe and Zoran Petrovic, Taylor & Francis (New York, London), 2006年

  • 確率過程

    真壁 利明,中川 正雄, 培風館, 2002年04月

  • Advannces in Low Temperature rf-Plasmas: Basis for process design

    Toshiaki Makabe, Edited, Elsevier (Amsterdam), 2002年

  • プラズマエレクトロニクス

    真壁 利明, 培風館, 1999年06月

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論文 【 表示 / 非表示

  • Sustainability of active bulk plasma with high electronegativity in capacitive high frequency plasma

    Toshiaki Makabe

    Jap. J. Appl. Phys. 61   026002(6pp) 2022年02月

    研究論文(学術雑誌), 単著, 査読有り

  • Review and current status: E-H mode transition in low-temperature ICP and related electron dynamics (Topical Review)

    Toshiaki Makabe

    Plasma Sources Sci. Technol. 30   023001(16pp) 2021年02月

    研究論文(学術雑誌), 単著, 査読有り

  • Current status and nature of high-frequency electronegative plasmas: basis for material processing in device manufacturing (Invited Review)

    Toshiaki Makabe

    Jap. J. Appl. Phys. 58   110101(21pp) 2019年11月

    研究論文(学術雑誌), 単著, 査読有り

  • Metastables as a probe for low-temperature plasma characteristics in argon (Topical Review)

    Toshiaki Makabe

    J. Phys. D. 52   213002(21pp) 2019年02月

    研究論文(学術雑誌), 単著, 査読有り

  • Velocity distribution of electrons in time-varying low-temperature plasmas: progress in theoretical procedures over the past 70 years (Topical Review)

    Toshiaki Makabe

    Plasma Sources Sci. Technol. 27   033001(22pp) 2018年03月

    研究論文(学術雑誌), 単著, 査読有り

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KOARA(リポジトリ)収録論文等 【 表示 / 非表示

研究発表 【 表示 / 非表示

  • More than 500 oral / poster presentations have been made at international or local conferences hosted by JSAP, GEC(APS), ICRP, AVS, EPS, ICPIG, ESCAMPIG, IEEE-PS, and SPIG, etc., and at specialized workshops and symposia.

    2010年

受賞 【 表示 / 非表示

  • Will Allis Prize for the Study of Ionized Gases

    Toshiaki Makabe, 2021年10月, American Physical Society, "Ground-breaking development of novel computational methods, and for leading seminal experimental investigations of low temperature plasmas and their applications"

    受賞区分: 国内外の国際的学術賞

  • DPS Nishizawa Award

    Toshiaki Makabe, 2017年11月, Int. Symposium on Dry Process, Japan Society of Applied Physics, Outstanding contribution to modeling of plasma etching.

    受賞区分: 国内外の国際的学術賞

  • Fellow of JFES

    Toshiaki Makabe, 2012年04月, The Japan Federation of Engineering Societies

    受賞区分: 国内外の国際的学術賞

  • Foreign member of the Serbian Academy of Science and Arts

    Toshiaki Makabe, 2009年11月, Serbian Academy of Science and Arts, Outstanding contribution to Plasma Physics

    受賞区分: 国内外の国際的学術賞

  • Fellow of AVS

    Toshiaki Makabe, 2008年, American Vacuum Society, Outstanding and sustained contributions to plasma modeling, simulation and diagnostics.

    受賞区分: 国内外の国際的学術賞

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担当経験のある授業科目 【 表示 / 非表示

  • 電子物理

    慶應義塾大学

    2012年04月
    -
    2013年03月

  • 応用確率論 (Introduction to stochastic processes)

    慶應義塾大学

    2012年04月
    -
    2013年03月

  • プラズマエレクトロニクス

    慶應義塾大学

    2012年04月
    -
    2013年03月

  • Plasma Electronics

    Xian Jiaotong University

    2010年04月
    -
    2011年03月

  • Plasma Electronics

    Ruhr University Bohum

    2006年04月
    -
    2007年03月

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教育活動及び特記事項 【 表示 / 非表示

  • 確率過程 (培風館)

    2002年04月

    , 教科書・教材の開発

  • プラズマエレクトロニクス (培風館)

    1999年07月

    , 教科書・教材の開発

  • 理工学基礎 確率過程 -確率の基礎からランダム・プロセスまで- (培風館)

    1987年01月

    , 教科書・教材の開発

 

社会活動 【 表示 / 非表示

  • 文科省科学技術・学術審議会

    2004年02月
    -
    2008年01月
  • NEDO 研究評価委員会

    2004年02月
    -
    2004年08月
  • 日本学術振興会

    2004年01月
    -
    2005年12月
  • 文科省科学技術政策研究所

    2003年
    -
    2005年
  • 産業構造審議会臨時委員

    2002年01月
    -
    2003年01月

所属学協会 【 表示 / 非表示

  • 応用物理学会, 

    1984年08月
    -
    継続中
  • ドライプロセスシンポジウム, 

    2003年
    -
    継続中
  • 米国真空学会, 

    1989年
    -
    2020年
  • 日本物理学会, 

    1972年
    -
    2000年
  • 電気学会, 

    1970年
    -
    2000年

委員歴 【 表示 / 非表示

  • 2000年08月
    -
    2015年

    Journal Editorial, Plasma Sources Science and Technology

  • 2001年
    -
    2007年

    Journal Editorial, Journal of Physics D: Applied Physics

  • 2002年

    Guest Editor, Applied Surface Science

  • 2007年

    Guest Editor, Applied Surface Science

  • 2004年
    -
    2006年

    Journal Editorial, Japan Society Applied Physics International

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